Laboratoire

Centre de recherche sur les matériaux avancés (CERMA)

Département

Département de chimie

Fournisseur

Headway Research Inc

Description de l’équipement

Appareil permettant de faire de la déposition de couches minces d’un matériau sur un substrat à partir d’une solution. Il est utilisé dans le domaine de la microélectronique afin d’obtenir des couches de conducteurs ou semiconducteur de très faible épaisseur. Il est constitué d’un plateau tournant à vitesse constante sur lequel on place le substrat sur lequel on veut faire le dépôt. Ce substrat est maintenu en place lors de la rotation par un vide. Une goutte de solution, suspension ou gel du matériau est ensuite déposée à la surface et s’étend sur le substrat par action de la force centrifuge.

Cet appareil est principalement utilisé au sein du centre de recherche afin de former des films minces de polymères pour des applications en électronique organique.

Caractéristiques spécifiques

• Vitesse de rotation : jusqu’à 10 000 rpm

Champs d’expertise de l’appareil

• Films minces
• Microfabrication
• Traitement de surface

Conditions d’utilisations

Ce service est offert en location avec assistance d’un professionnel de recherche. Il est disponible pour les collaborateurs académiques et industriels, selon le volume d’utilisateurs.