Laboratoire

Laboratoire de Biomatériaux et Bioingénierie

Département

Département de génie des mines, de la métallurgie et des matériaux

Organisme(s) subventionnaire(s) :

iBiomat

Fournisseur (modèle)

Construit au laboratoire

Mise en fonction

2001

Description de l’équipement

Ce réacteur plasma à basse pression en forme de tube utilise un mélange gazeux ajustable en fonction des modifications de surface désirées.

Il est principalement utilisé dans le laboratoire pour modifier la surface de métaux ou de gaufres (wafers) de silicium pour y déposer des revêtements fluorocarbonés.

Caractéristiques spécifiques

• Gamme de pression : 100-700 mTorr
• Gaz possibles : argon, oxygène, hydrogène, fluorocarbone C₂F₆
• Surface traitée : plan dans un cylindre de 12 mm de diamètre
• Tension de travail : ±300 V ou potentiel flottant
• Fréquence de travail : 13,6 MHz
• Mode : continu ou pulsé

Champs d’expertise de l’appareil

• Modification de surface
• Traitement par plasma à basse pression

Conditions d’utilisations

Nécessité d’une formation sur l’appareil ou de l’utilisation de l’appareil par un professionnel de recherche. Disponible pour collaborateurs académiques et/ou industriel.